主要應(yīng)用于光通訊、高功率激光芯片等巴條外觀檢測;檢測缺陷類型:臟污、劃痕、崩邊、異色、解理紋、膜層脫落等;
AOI-LD 410 機(jī)型是針對激光芯片外觀檢查所開發(fā)的高精度鏡檢系統(tǒng),應(yīng)用于Bar制程中的缺陷檢查,節(jié)省人力,提升制程品質(zhì)穩(wěn)定性。本系統(tǒng)基于精密運動和減震平臺,搭載納米級光學(xué)系統(tǒng),核心視覺系統(tǒng)采用傳統(tǒng)算法和AI算法結(jié)合,完成芯片取放,AR面/HR面/P面/N面的檢查,識別Bar編號和關(guān)聯(lián)對應(yīng)輸出缺陷信息;
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