高精度:位置 +/-5um; 角度 +/-0.1°
多芯片:全自動更換晶圓,頂針,吸嘴
高柔性:模塊化,支持多種吸取固晶方式,機(jī)構(gòu)模組硬件升級更換靈活
高性能:全自動標(biāo)定,全自動檢查,持續(xù)監(jiān)控機(jī)器運(yùn)行情況,易于使用及恢復(fù)處理
高穩(wěn)定性:具有高可靠性和穩(wěn)定性,能夠保證系統(tǒng)長時間穩(wěn)定運(yùn)行
可編程:具有高度可編程性,能夠根據(jù)不同應(yīng)用需求進(jìn)行靈活配置擴(kuò)展新功能
靈活的通信接口:支持多種通信接口,能夠與其他設(shè)備或系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)交換和通信